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    RS-100全自動(dòng)防塵半導體行業(yè)點(diǎn)膠系統

    RS-100是一款基于RDL First WLP 行業(yè)點(diǎn)膠需求開(kāi)發(fā)的,集晶圓自動(dòng)上下料功能的噴膠系統。該系統集晶圓自動(dòng)上下料與晶圓級噴膠功能于一體,可全自動(dòng)實(shí)現晶圓搬運、對位、預熱、作業(yè)加熱、噴膠、散熱等功能。配置AMHS自動(dòng)上下貨機器人接口,匹配信息化管理要求與無(wú)人化管理趨勢,點(diǎn)膠區域達到 550mmx510mm。

    產(chǎn)品概覽

    核心優(yōu)勢

    良率提升:工作機位作業(yè)前后檢測,末站專(zhuān)業(yè)檢測,實(shí)現多重防呆。
    全自動(dòng)化:同時(shí)配備自動(dòng)上料機、自動(dòng)下料機,匹配信息化管理要求與無(wú)人化管理趨勢。
    防止整線(xiàn)宕機:作業(yè)軌/傳輸軌分離,單臺停機不影響整線(xiàn)運行。
    滿(mǎn)足信息化管理需求:實(shí)時(shí)MES系統對接,上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息,系統異常狀態(tài)報警。支持SECS/GEM半導體通訊協(xié)議。

    嚴格溫控:在晶圓流轉與作業(yè)全過(guò)程中對溫度進(jìn)行管控并自動(dòng)校正,滿(mǎn)足CUF工藝需求。


    滿(mǎn)足嚴苛的工程條件要求
    百級防塵設計 專(zhuān)用于環(huán)保車(chē)間(通過(guò)建模與仿真,配置防塵部件及線(xiàn)纜,氣體過(guò)濾等);
    ESD防靜電設計(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標準) ;
    防震動(dòng)(礦物質(zhì)框架,具有良好吸震性,有效減少高速運動(dòng)帶來(lái)的沖擊)。


    系統組成



    規格參數

    RS-100

    基本參數

    外形尺寸 mm

    960×1240×1467(W*D*H)

    重量 kg

    標準機:900

    用電需求

    電壓220V,50HZ,電流16A

    氣壓需求MPa

    最小氣壓0.6

    設備功耗W

    ≦2500

    有效行程 mm

    X550*Y510

    軌道高度mm

    900±30

    軌道承重(含載具)Kg

    4.5

    最大基板厚度 mm

    5.5

    軸數

    X、Y、Z

    驅動(dòng)方式

    X/Y/Z軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿

    定位精度

    ±15um(X\Y);±15um(Z)

    重復精度

    ±10um(X\Y);±10um(Z)

    最大速度mm/s

    1000(X/Y);300(Z)

    最大加速度

    1g(X/Y);0.3g(Z)

    視覺(jué)定位系統

    工業(yè)CCD

    計算機及軟件

    Windows 系統開(kāi)發(fā)下軟件

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